BSLtech Semiconductor SOLUTION
Жарым өткөргүч тармагындагы тажрыйбаңызды өнүктүрүү үчүн көбүнчө ISO классы (ISO 5 же андан жогору) болгон таза бөлмөлөр же ламинардуу агым шкафтары талап кылынат. Сиз UV сезгич процесстер менен алектенип жатасызбы? Ошондо да BSL туура таза бөлмөнү камсыз кылат. Таза бөлмөлөрдө дубалдын жогорку сапаттагы жасалгасы жана UV чыпкасы менен жарыктандыруу өзгөчөлүгү бар. Фильтр системасындагы антистатикалык (ESD) материалдарды жана антистатикалык тилкелерди колдонуу менен абадагы статикалык заряд нейтралдаштырат.
Дегазация талап кылынбаганда, BSL газ чыгарбаган материалдардын (ПУ) таза бөлмөсүн сунуштайт. Бул технология аэрокосмостук өнөр жайдан келип чыккан.
Жарым өткөргүч өнөр жайындагы типтүү процесстер:
● субстраттарды жана кремний пластиналарды коргоо
● EUV изилдөө
● Маскаларды түздөөчүлөр
● Вакуумдук каптоо, жука пленка коюу
● Колдонмолорду басып чыгаруу
● Оптика
Front-end жана backend процесстери