Салыштырмалуу кичинекей таза бөлмө аянты менен микро-электрондук семинар кондиционер системасынын экинчи кайтып аба схемасын кабыл алуу үчүн колдонулган кайра аба каналынын чектелген радиусу. Бул схема ошондой эле көбүнчө колдонулаттаза бөлмөлөрфармацевтика жана медициналык жардам сыяктуу башка тармактарда. Таза бөлмө температурасынын нымдуулугунун талаптарына жооп берүү үчүн желдетүү көлөмү тазалык деңгээлине жетүү үчүн талап кылынган желдетүү көлөмүнөн жалпысынан алда канча аз болгондуктан, берүү абасы менен кайтып келүүчү абанын ортосундагы температура айырмасы аз. Кайтаруучу абанын негизги схемасы колдонулса, абаны берүүчү абанын абалынын чекити менен кондиционердин шүүдүрүм чекитинин ортосундагы температура айырмасы чоң, экинчилик жылытуу керек, натыйжада абаны тазалоо процессинде муздак жылуулуктун ордун толтурууга жана көбүрөөк энергия керектөөгө болот. . Эгерде кайра келүүчү абанын экинчи схемасы колдонулса, кайра келүүчү абанын экинчилик схемасын экинчилик жылытууну алмаштыруу үчүн колдонсо болот. Негизги жана экинчилик кайтып келүүчү абанын катышын жөнгө салуу экинчилик жылуулукту жөндөөдөн бир аз азыраак сезгич болсо да, экинчилик кайтып келүүчү аба схемасы чакан жана орто микроэлектрондук таза цехтерде кондиционердин энергияны үнөмдөөчү чарасы катары кеңири таанылган. .
Мисал катары ISO классынын 6 микроэлектрониканын таза цехин алалы, таза цехтин аянты 1 000 м2, шыптын бийиктиги 3 м. Интерьер дизайнынын параметрлери температура tn= (23±1) ℃, салыштырмалуу нымдуулук φn=50%±5%; Долбоордук абанын берүү көлөмү 171 000 м3/саат, болжол менен 57 с-1 аба алмашуу жолу, ал эми таза абанын көлөмү 25 500 м3/саат (анын ичинен технологиялык абанын көлөмү 21 000 м3/саат, калганы оң басым агып аба көлөмү). Таза цехтеги сезгичтүү жылуулук жүгү 258 кВт (258 Вт/м2), кондиционердин жылуулук/нымдуулук катышы ε=35 000 кДж/кг, ал эми бөлмөнүн кайткан абасынын температура айырмасы 4,5 ℃. Бул учурда, негизги кайтып аба көлөмү
Бул азыркы учурда микроэлектроника өнөр жай таза бөлмөдө тазалоо абаны кондиционер системасынын эң көп колдонулган түрү болуп саналат, системанын бул түрү негизинен үч түргө бөлүүгө болот: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (кургак катушка) +FFU. Ар биринин артыкчылыктары жана кемчиликтери жана ылайыктуу жерлери бар, энергияны үнөмдөөчү эффект негизинен чыпка жана желдеткичтин жана башка жабдуулардын иштешинен көз каранды.
1) AHU+FFU системасы.
Системалык режимдин бул түрү микроэлектроника тармагында "кондициялоо жана тазалоо фазасын бөлүү жолу" катары колдонулат. Эки жагдай болушу мүмкүн: бири - кондиционер системасы таза аба менен гана иштейт, ал эми тазаланган таза аба таза бөлмөнүн бардык жылуулук жана нымдуулук жүгүн көтөрөт жана чыккан аба менен оң басымдын агып кетишин тең салмактоо үчүн кошумча аба ролун аткарат. таза бөлмөнүн, бул система, ошондой эле MAU + FFU системасы деп аталат; Экинчиси, таза абанын көлөмү таза бөлмөнүн муздак жана жылуулук жүктөө муктаждыктарын канааттандыруу үчүн жетиштүү эмес, же таза аба сырткы абалдан шүүдүрүм чекитине чейин иштетилгендиктен талап кылынган машинанын өзгөчө энтальпиялык айырмасы өтө чоң. , ал эми ички абанын бир бөлүгү (кайтарып келүүчү абага барабар) кондиционерди тазалоочу блокко кайтарылып, жылуулук жана нымдуулук менен тазалоо үчүн таза аба менен аралаштырылат, андан кийин аба менен камсыз кылуу пленумуна жөнөтүлөт. Калган таза бөлмөгө кайтып келүүчү аба менен аралашып (эквиваленттүү кайтып келүүчү абага барабар), ал FFU бирдигине кирип, андан кийин аны таза бөлмөгө жөнөтөт. 1992-жылдан 1994-жылга чейин бул эмгектин экинчи автору сингапурдук компания менен кызматташып, 10дон ашык аспиранттарды АКШ-Гонконг биргелешкен SAE Electronics Factory ишканасын долбоорлоого катышуу үчүн жетектеген, ал кондиционерди тазалоонун акыркы түрүн кабыл алган. желдетүү системасы. Долбоордо болжол менен 6000 м2 (анын 1500 м2 Япониянын Атмосфералык Агенттиги менен келишим түзгөн) ISO 5 классындагы таза бөлмө бар. Кондиционер бөлмөсү сырткы дубалды бойлой таза бөлмө тарапка параллелдүү жана коридорго жанаша жайгашкан. Таза аба, чыгуучу аба жана кайтып келүүчү аба түтүктөрү кыска жана жылмакай уюштурулган.
2) MAU+AHU+FFU схемасы.
Бул чечим, адатта, бир нече температура жана нымдуулук талаптары жана жылуулук жана нымдуулук жүктөмүндөгү чоң айырмачылыктары бар микроэлектроника ишканаларында кездешет жана тазалык деңгээли да жогору. Жайында таза аба муздатылган жана белгиленген параметр чекитине чейин нымсызданат. Адатта таза абаны изометрдик энтальпия сызыгы менен 95% салыштырмалуу нымдуулук сызыгынын репрезентативдик температурасы жана нымдуулугу бар таза бөлмөнүн же эң чоң таза абанын көлөмү менен таза бөлмөнүн кесилишкен жерине чейин тазалоо ылайыктуу. MAU абасынын көлөмү абаны толуктоо үчүн ар бир таза бөлмөнүн муктаждыктарына жараша аныкталат жана зарыл болгон таза абанын көлөмүнө ылайык түтүктөр менен ар бир таза бөлмөнүн АДБга бөлүштүрүлөт жана жылуулук үчүн кээ бир ички кайтуучу аба менен аралаштырылат. жана нымдуулук менен дарылоо. Бул аппарат бардык жылуулук жана нымдуулук жүгүн жана ал тейлеген таза бөлмөнүн жаңы ревматизм жүгүн бир бөлүгүн көтөрөт. Ар бир АДБ тарабынан иштетилген аба ар бир таза бөлмөдөгү берүүчү аба пленумуна жөнөтүлөт, ал эми үй ичиндеги кайтуучу аба менен экинчилик аралашкандан кийин FFU агрегаты тарабынан бөлмөгө жөнөтүлөт.
MAU+AHU+FFU чечиминин негизги артыкчылыгы тазалыкты жана оң басымды камсыз кылуудан тышкары, ар бир таза бөлмө процессин өндүрүү үчүн талап кылынган ар кандай температураларды жана салыштырмалуу нымдуулукту камсыздайт. Бирок, көп учурда AHU санына байланыштуу орнотулган, бөлмөнүн аянты чоң, таза бөлмө таза аба, кайтып келген аба, аба менен камсыз кылуу түтүктөрү кайчылаш, чоң мейкиндикти ээлейт, схемасы кыйыныраак, тейлөө жана башкаруу кыйыныраак. жана татаал, ошондуктан, колдонуудан качуу үчүн мүмкүн болушунча эч кандай атайын талаптар.
Посттун убактысы: 26-март-2024