жарым өткөргүч (FAB) таза бөлмөдө салыштырмалуу нымдуулуктун максаттуу мааниси

Жарым өткөргүчтүү (FAB) таза бөлмөдөгү салыштырмалуу нымдуулуктун максаттуу мааниси болжол менен 30-50% түзөт, бул литография зонасы сыяктуу ±1% катанын тар маржасына мүмкүндүк берет - же алыскы ультрафиолет иштетүүдө (DUV) андан да аз. зонасы - башка жерлерде ал ± 5% чейин жумшартылышы мүмкүн.
Салыштырмалуу нымдуулукта таза бөлмөлөрдүн жалпы иштешин төмөндөтүүчү бир катар факторлор бар, анын ичинде:
1. Бактериялардын көбөйүшү;
2. Кызматкерлер үчүн бөлмө температурасынын ыңгайлуу диапазону;
3. Электростатикалык заряд пайда болот;
4. Металлдын коррозиясы;
5. Суу буусунун конденсациясы;
6. Литографиянын бузулушу;
7. Сууну сиңирүү.

Бактериялар жана башка биологиялык булгоочу заттар (көгүлтүрлөр, вирустар, козу карындар, кенелер) салыштырмалуу нымдуулугу 60%дан ашкан чөйрөдө гүлдөй алышат. Кээ бир бактериялык жамааттар 30% ашык салыштырмалуу нымдуулукта өсө алат. Компания нымдуулукту 40%дан 60%га чейинки диапазондо көзөмөлдөө керек деп эсептейт, бул бактериялардын жана респиратордук инфекциялардын таасирин азайтат.

Салыштырмалуу нымдуулук 40%дан 60%ке чейинки аралыкта да адамдын ыңгайлуулугу үчүн орточо диапазон болуп саналат. Өтө көп нымдуулук адамдарды тумчугуп сезиши мүмкүн, ал эми 30% дан төмөн нымдуулук адамдарда кургак, жарылып кеткен тери, дем алуудагы дискомфорт жана эмоционалдык бактысыздыкты сезиши мүмкүн.

Жогорку нымдуулук чындыгында таза бөлмөнүн бетинде электростатикалык заряддардын топтолушун азайтат - каалаган натыйжа. Төмөн нымдуулук зарядды топтоо жана электростатикалык разряддын потенциалдуу зыян булагы үчүн идеалдуу. Салыштырмалуу нымдуулук 50% ашканда электростатикалык заряддар тез тарай баштайт, ал эми салыштырмалуу нымдуулук 30%тен аз болгондо изолятордо же негизсиз беттерде көпкө чейин сакталып калышы мүмкүн.

35% жана 40% ортосундагы салыштырмалуу нымдуулук канааттандырарлык компромисс катары колдонулушу мүмкүн, ал эми жарым өткөргүч таза бөлмөлөр жалпысынан электростатикалык заряддардын топтолушун чектөө үчүн кошумча көзөмөлдү колдонушат.

Көптөгөн химиялык реакциялардын, анын ичинде коррозия процесстеринин ылдамдыгы салыштырмалуу нымдуулуктун жогорулашы менен жогорулайт. Таза бөлмөнүн айланасындагы абага туш болгон бардык беттер тез.